Glossary entry (derived from question below)
English term or phrase:
spin-on carbon
French translation:
carbone déposé par centrifugation
Added to glossary by
GILLES MEUNIER
Dec 3, 2013 14:05
10 yrs ago
English term
spin-on carbon
English to French
Science
Patents
matériaux / procédés
materials used in photolithography, spin-on hardmasks, photoresists, spin-on carbon.
Merci d'avance pour votre aide!
Merci d'avance pour votre aide!
Proposed translations
(French)
4 | carbone déposé par centrifugation | GILLES MEUNIER |
4 | carbone déposé par rotation | Bertrand Leduc |
Change log
Dec 10, 2013 06:27: GILLES MEUNIER Created KOG entry
Proposed translations
16 mins
Selected
carbone déposé par centrifugation
est ouverte en faisant circuler un gaz d'ouverture de masque dur comprenant un composant COS dans la chambre de plasma, en formant un plasma à partir du gaz d'ouverture de masque dur et en interrompant l'écoulement du gaz d'ouverture de masque dur. La couche de masque dur peut être constituée de carbone amorphe ou de carbone déposé par centrifugation, et le gaz d'ouverture de masque dur peut en outre comprendre du O2
4 KudoZ points awarded for this answer.
Comment: "Merci Gilou pour cette réponse."
3 hrs
carbone déposé par rotation
--------------------------------------------------
Note added at 3 hrs (2013-12-03 17:51:52 GMT)
--------------------------------------------------
http://www.google.com/patents/WO2013117908A1?cl=en
http://www.google.com/patents/WO2013117908A1?cl=fr
Something went wrong...